Logo WEiTI - Wirtualne Drzwi Otwarte

Mikroczujniki i mikrosystemy

Celem przedmiotu jest zapoznanie studentów z najnowszymi konstrukcjami różnego typu mikroczujników i mikrosiłowników oraz mikrosystemów wykonywanych w technologii półprzewodnikowej, cienkowarstwowej, typu LIGA i w nanotechnologii w tym w "ink-jet printing". Studenci poznają koncepcje technologii typu "bulk" i technologię typu "surface micromachining".